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MEMS optiques à base de silicium monocristallin
6-Dec-2007 14:00 14:00
Age: 13 yrs


PR. TARIK BOUROUINA



MEMS optiques à base de silicium monocristallin


SEMINAIRE SCIENTIFIQUE « RECHERCHE » PRESENTATION DES TRAVAUX DE RECHERCHE

Pr. TARIK BOUROUINA

JEUDI 06 DECEMBRE 2007, A 13H 30, AMPHI 110, A L’ESIEE

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MEMS OPTIQUES A BASE DE SILICIUM MONOCRISTALLIN
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Résumé :
Une grande variété de micro-composants optiques et opto-électro-mécaniques ont été étudiés ces
dernières années à l’ESIEE, au sein du laboratoire de recherche ESYCOM (Equipe Systèmes de
Communications et Microsystèmes).
Différentes techniques de micro-usinage du silicium ont été mises en oeuvre pour réaliser ces structures.
Ce travail é été effectué dans les salles blanches de l’ESIEE, avec le concours des ingénieurs du Service
pour la Microélectronique et les Microsystèmes (SMM).
L’exposé commencera par une présentation des techniques de base utilisée en gravure, puis illustrera par des exemples simples, quelques applications à la réalisation de micro-lentilles et de micro-miroirs
mobiles.
La deuxième partie de l’exposé se focalisera sur les applications les plus récentes et qui traitent
d’applications d’une brique de base originale, les miroirs de Bragg verticaux.
La première application proposée traite de filtres optiques accordables dans la bande C des
télécommunications optiques (1525-1560 nanomètres), où l'accord est réalisé par un mouvement d’un
miroir par rapport à l'autre, en utilisant un actionnement électrostatique.
Enfin, un interféromètre optique MEMS de type Michelson utilisant des réflecteurs de Bragg en silicium
a été proposé et étudié.
La fonctionnalité de ces dispositifs a été validée expérimentalement par des mesures.
L’exposé se termine par une présentation des perspectives qui incluent non seulement de nouveaux
dispositifs comme des lasers accordables, accessibles par l’intégration de miroirs de Bragg verticaux,
mais aussi l’application des interféromètres réalisés à des fins de mesure des vibrations mécaniques insitu dans des capteurs en silicium.

 

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Dernière mise à jour : 13/02/2017